掩膜版光罩盒,也称为掩膜版盒或光罩盒,是半导体制造过程中用于存放和保护掩膜版(光罩)的专用容器。掩膜版,又称光刻掩膜版等,是光刻工艺中的关键部件,承载着图形设计和工艺技术等知识产权信息,是半导体芯片制造过程中图形“底片”转移用的高精密工具。
1、功能与作用
掩膜版光罩盒的主要功能是安全地存放掩膜版,防止其在存储、运输和使用过程中受到污染、损坏或变形,从而确保掩膜版的精度和完整性,光罩盒的设计通常便于操作人员快速取放掩膜版,提高工作效率。
2、材质与结构
光罩盒一般采用耐腐蚀、防静电、易清洁的材料制成,如金属、特殊塑料等,以确保对掩膜版的有效保护,光罩盒内部设计有精密的固定装置和减震措施,以确保掩膜版在盒内稳固不晃动,同时减少外界震动对掩模板的影响。
3、组装式光罩盒特点:
铝合金光罩盒采用铝合金材料及特殊塑料组装而成,兼具高强度及加工的灵活性同时较好的结构强度及气密性,可避免运输存放时的particle污染,同时也具有优异的抗静电性能,可有效避免静电损害。
光罩盒信息 | |||
掩膜版 | 800x700mm | 920x800mm | 850x1200mm |
组装式光罩盒 | 915x1000x205mm | 1035x1105x205mm | 1155x1388x205mm |